Lager för lager

Efter att mönstret ritats ut spolas fotoresistet av. Delarna som exponerats med ultraviolett ljus har dock ämnet kvar, som skyddar det underliggande kislet.

I ett steg som kallas för etsning hälls kemikalier på kiselplattan. Detta fräter bort det exponerade kislet, men lämnar kvar mönstret som skyddas av fotoresist.

Sist men inte minst spolas det kvarvarande fotoresistet av med andra kemikalier. Kvar är ett etsat mönster i kiselplattan.